000 00869cam a22002657a 4500
001 66024
005 20260715225616.0
008 xx 00010
035 _atr01666024
040 _aPOZN 93/AJ
_cPOZN 93/AJ
_dPOZN 93/BZ
041 0 _aeng
100 1 _aTimm, Roman Christian
_d(1967-).
_974985
245 0 0 _aReactive Crossed-Beam Laser Ablation Application to the Production of TiN Thin Films :
_bInaugural-Dissertation /
_cRoman Christian Timm.
260 0 _aZurich :
_bUniversitat Zurich,
_c1998.
300 _a128 s. :
_bil., rys., tab., wykr. ;
_c21 cm.
504 _aBibliogr. s. 118-127.
690 7 _afizyka
_955
690 7 _alasery
_94030
690 7 _apromieniowanie laserowe
_956809
690 7 _apowłoki cienkowarstwowe
_99341
690 7 _aablacja
_974986
690 7 _atytan
_944259
690 7 _aazot
_92162
996 _a66024
999 _c48526
_d48526