Fizicheskie osnovy mikrotekhnologii /
Brodie, Ivor.
Fizicheskie osnovy mikrotekhnologii / The physics of microfabrication. Ivor Brodie, Julius J. Muray. - Moskva : Izdatel'stvo -Mir, 1985. - 494, [2] s. : rys. , tab. , wykr. ; 23 cm.
bibliogr.
Fizicheskie osnovy mikrotekhnologii / The physics of microfabrication. Ivor Brodie, Julius J. Muray. - Moskva : Izdatel'stvo -Mir, 1985. - 494, [2] s. : rys. , tab. , wykr. ; 23 cm.
bibliogr.